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发布时间:2024-06-26 13:37:33 人气:22 来源:vowih.com
6月24日,全国科技大会、国家科学技术奖励大会、两院院士大会在北京召开2023年度国家科学技术奖共评选出250个项目,包括49项国家自然科学奖,62项国家技术发明奖和139项国家科学技术进步奖在清华大学的支持下,四川能投清控集团所属企业参与完成的2个项目获表彰。
其中,华海清科参与完成的集成电路化学机械抛光关键技术与装备项目荣获国家技术发明奖一等奖(华海清科董事长、首席科学家路新春为项目第一完成人);博奥生物参与完成的中医体质辨识体系建立及应用项目荣获国家科学技术进步奖二等奖(博奥生物为主要完成单位),这是博奥生物第三次荣膺国家科学技术奖励。
其中,化学机械抛光(CMP)是光刻等集成电路制造工艺进行的前提和保障该项目揭示了抛光过程流场运动规律和晶圆全局压力调控机制,首创直线运动式新型抛光单元,发明了双面喷淋清洗与表面张力梯度辅助竖直旋转干燥技术,建立了亚纳米膜厚测量与摩擦力终点检测技术,发明了模块化柔性布局整机架构。
突破了国外专利壁垒,为芯片制造提供了全系列CMP装备,经济社会效益显著博奥生物将现代生命科学、生物医学工程和人工智能技术与中国传统医学交叉融合,传承精华、守正创新该项目面向健康中国重大战略需求,通过技术创新解决了中医体质辨识客观化和科学化的问题,形成了中西医并重的自主技术体系。
以中医体质辨识为抓手全面推动治未病和主动健康,为解决慢病防控缺少抓手的“卡脖子”问题提供了中国智慧和中国方案四川能投将坚持科技研发和科技成果转化同时发力,集中优势资源和核心力量,持续深化产学研融合发展,全力支持旗下科创型企业攻克“卡脖子”技术,并以技术为依托,促进传统产业转型,加快新兴产业布局,充分释放清华控股对川渝地区科技赋能作用,进一步培育和形成新质生产力,以科技力量助推四川现代化建设和成渝地区双城经济圈建设。
(易林)
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